Nitrürleme işleminden sonra parçaların kesiti alınarak yüzeyinden içeri doğru yapılan mikrosertlik ölçümleri ile malzemenin sertlik-derinlik profili ortaya çıkarılır.
Malzeme cinsi, mikroyapısı, malzemenin nitrürleme işleminden önce gördüğü ısıl işlemler ile nitrürleme parametreleri olan işlem sıcaklığı, süresi, kullanılan gazların oranları gibi faktörler sertlik-derinlik profilini etkilerler.
Aşağıda nitrürleme işlemi için çokça tercih edilen malzemelere ait örnek sertlik-derinlik diyagramları bulunmaktadır.
